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Descrizione

Computational Lithography

This is the first book to address the optimization of resolution enhancement techniques in optical lithography. It provides an in-depth discussion of RET tools that use model-based mathematical optimization approaches.
  • ID Fruugo: 434359682-911567026
  • ISBN: 9780470596975

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  • STANDARD: 9,99 € - Consegna tra ven 06 febbraio 2026–gio 26 febbraio 2026

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